技术编号:8156045
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及人工晶体生长领域,特别涉及一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉。背景技术我国人工晶体生长产业经过半个多世纪的发展,取得了巨大的成就,已具有较高的技术水平和较大的生产能力,在国际上具有一席之地。与之配套的晶体生长设备——单晶炉也得到飞速的发展,目前提拉法单晶炉的发展趋势是采用上称重法自动直径控制技术 (auto-diameter control ADC)智能化控制,可实现晶体生长过程的自动法控制,大大节省人力,同时晶体质量的均一性也得到提高,大大地推动了人工晶体产业的发展。但是传统的自动法单晶炉炉膛装...
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