技术编号：8156095
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及单晶硅的制造技术，尤其涉及一种。背景技术目前，制作单晶硅的最主要的方法为直拉法(CZ法)，直拉单晶硅生产过程主要包括投料、抽空、熔料、稳定化、引晶、放肩、等径、收尾、冷却。单晶硅棒是直拉单晶硅方法形成的终端产品。单晶硅棒如图1所示，包括肩部01、等径部分02、尾部03，其中，等径部分头部021紧挨肩部01，约肩部01以下200mm之内。单晶棒的肩部01和尾部03在使用时将其切除，能够使用的单晶硅棒的部分为等径部分02。 目前，依据石英坩埚尺寸的不同，生产8寸N型直拉单晶硅的投料量一般为120kg或...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。