技术编号：8156207
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用于通过浮区法制造单晶体的方法以及适于采用该方法的设备。背景技术浮区法/逐区精 炼法(Zonenziehen)在工业规模上特别用来制造由硅组成的单晶体。为此，多晶硅采用感应方式被熔化并且在单晶晶种上结晶。多晶硅通常以进料棒的形式设置，该进料棒从其下端开始通过感应线圈被逐渐熔化，其中由熔化的硅组成的熔化区用于单晶体的生长。这种方法以下称为FZ法。FZ法的一个改型方法(其此后称为GFZ法)采用多晶颗粒硅代替进料棒。尽管FZ法采用一个感应加热线圈使得进料棒熔化并使得单晶体的受控结晶，但是GFZ法采用两个...
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