基板处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:8156485

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技术领域本发明涉及对基板进行各种作业的基板处理装置。背景技术将各种电子元件安装于基板的作业一般包括多个作业(例如对基板印刷焊膏的焊料印刷作业、对基板安装电子元件的元件安装作业、对安装有电子元件的基板进行加热来进行焊接的焊接作业、检查各作业的作业结果的检查作业等)。这些对基板进行的各种作业由焊料印刷机、元件安装机、回流炉、检查机等各种基板处理装置来进行。作为基板处理装置已知有具备移动装置的基板处理装置,该移动装置使对基板进行规定作业的头部单元沿着导轨向一轴方向移动。但是,该移动装置中,由于头部单元的移动被限制在导轨的...
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