技术编号：8158413
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域—种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置技术领域本实用新型涉及一种进气排杂装置，特别是涉及一种用于多晶硅铸锭炉的进气排背景技术由于铸锭炉内的石墨材料会与二氧化硅制成的石英坩埚在高温下发生反应产生含碳气体，如0)、0)2等，而所产生的含碳气体会使多晶硅中的碳含量过高。多晶硅中碳含量过高容易导致硅溶液在定向凝固长晶过程中形成碳沉淀物、碳化硅夹杂物、位错等杂质或缺陷，这不仅会在多晶硅锭切割工艺中增加断线事故及产生线痕不良，而且还会导致制作成的电池片漏电率高、转换效率低。故常用的方法是在铸锭炉顶部通入惰性气体来排出所产生...
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