技术编号：8158585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种粒子-光学装置，包括带有光轴的聚焦机构，可将带电粒子束聚焦到焦点位置，所述聚焦机构包括磁透镜，可在磁极部帮助下产生聚焦磁场；静电透镜，可产生聚焦电场，其中粒子束的能量发生变化。因此，聚焦电场位于聚焦磁透镜和焦点位置之间区域的上游。背景技术 美国专利US No.4,785,176公开了这样的装置。这类装置可称作扫描电子显微镜(SEM)，透射电子显微镜(TEM)和双束显微镜(其中应用了离子束和电子束)。上述装置目前应用于，例如，半导体工业的开发、检验和生产领域。在这些应用领域中，在各个阶段，使用电...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。