一种微动定位平台改变行程范围的装置的制作方法技术资料下载

技术编号:8163979

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技术领域本实用新型涉及微动定位装置,特别涉及一种微动定位平台改变行程范围的装置。背景技术随着科技的发展,在超精密加工、微电子工程、生物工程、纳米技术等领域都迫切需要亚微米级甚至纳米级的精密定位技术。现有的微动定位平台都仅仅具有一种行程的位移输出范围,当行程较大时,很难获得较高的输出位移精度;为了获得较高的微动定位平台输出位移精度,定位平台的输出位移行程往往较小。发明内容本实用新型的目的是提供一种微动定位平台改变行程范围的装置。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是本实用新型包括基座、变放大倍数杠杆、复合平行四杆...
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