技术编号:8164154
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种成膜装置、成膜方法、利用该成膜装置或成膜方法形成的有机EL(电致发光)元件、使用该成膜装置或成膜方法的有机EL的制造方法。背景技术 在蒸镀、溅射等成膜装置中通常使用单一的固定成膜源,但相对面积较大的基板,需要通过增大成膜源的规模或使基板和成膜源离开距离来扩大成膜区域,由此造成成膜装置大型化、所形成的膜的图形精度下降的问题。近年来,作为自身发光型薄型显示元件或面发光源,在显示器或照明领域备受瞩目的有机EL元件具有如下基本结构,在基板上形成下部电极,在其上形成由有机化合物构成的有机功能层的薄膜,再...
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