技术编号:8165102
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及原子力显微镜(AFM)探针和悬臂梁的一次成型制作方法,更确切地说本发明是一种利用掩膜-无掩膜腐蚀技术实现原子力显微镜探针和悬臂梁一次成型的制造方法,属于微机械传感器领域。背景技术 原子力显微镜是近廿年来新发展的一种高清晰度的显微技术,它能显示出物体表面附近的势能分布,并根据这种分布,直接描述出物体表面的形貌。AFM已成为人们观察和研究微观世界的有力工具。组成AFM的关键部分是由悬臂梁及梁端部的探针组成的力传感器。它的结构和性能对AFM仪器的性能、测量分辨率和图象质量有极大的影响。AFM对力传感器的...
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