技术编号:8165835
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及的一种硅芯炉不锈钢籽晶夹头。 二背景技术籽晶夹头,一般使用石墨材料加工制造,其优点是自润滑易拆卸,制造成本较低,熔点高,电性能好,质轻。其缺点是预处理繁琐,污染较大,使用寿命低。石墨夹头在使用前,要经过腐蚀,清洗,烘干,再经过真空煅烧,真空包装等预处理工序后才能上炉使用,酸洗的目的主要是去除石墨表面的硅粉及杂质,真空煅烧的目的是让石墨内部的杂质挥发,最大限度的保证石墨件与高纯产品在同一反应器中不会造成污染。但是即使经过预处理后的石墨件,也不能改变其易碎,易粉末化的性质。由于装拆炉的过程较为复杂...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。