技术编号:8166023
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种驱动装置,尤其涉及一种安装在电子显微镜中的扫描探针显微镜探针驱动装置。背景技术 人们采用新近发明的扫描探针显微镜技术来测量材料微区的表面结构和表面物理、化学和力学等性质,扫描探针显微镜通常包括机械和电子学两部分,机械部分控制扫描探针显微镜探针的移动,电子学部分负责各种信号的加载和对探测到的数据信号进行处理。近几年,随着纳米技术的不断发展,人们投入大量的人力、物力对纳米结构和物性表征的新方法新技术进行研究,但由于纳米材料结构的微观化,如何操纵纳米材料并进行原位结构和物性的表征,成为摆在研究人员面...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。