技术编号：8166650
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及图像绘制方法、图像绘制装置以及校正方法，尤其涉及关 于对用作多层基底的感光材料进行曝光的图像绘制方法、图像绘制装置、 图像绘制系统以及校正方法。背景技术通常，在对工件，例如其上涂敷或层压感光材料或进行类似处理的基底，进行扫描曝光的曝光装置中，为了精确地调整在X-Y方向上相对于工 件的曝光位置，在工件处提供并作为曝光位置参照的对准(alignment)标记 被对准相机，如CCD相机或类似物，在曝光进行之前拍摄下来。将曝光位 置调整到正确位置的对准基于拍摄获得的标记测量位置(参考位置数据) 进行。具有...
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