技术编号：8167236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用来去除带有正极性或负极性电荷的各种带电物、例如用作半导体之类的去静电对象的去静电的去静电方法及其装置。背景技术 众所周知，作为使去静电对象的带电量接近零的手段，多年来一直使用通过把高电压生成器生成的直流高电压或交流高电压施加于电极针，使之产生电晕放电，由该电极针输出正离子或负离子，将该离子喷射带电体的方法。此外，通过给电极针施加正负高电压使之产生用于去静电的正离子与负离子时，通常都在电极针近旁预先设置接地的接地板，以便促进离子释放(参照特许文献1)，但是若设置该接地板，由于会使设计与上述配置相关...
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