技术编号:8167478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及高温氧化技术领域,特指一种水平式碳化硅高温氧化装置,该装置不但能够实现碳化硅材料的干氧或湿氧氧化,而且还能够在真空或其它气氛下进行原位退火,以满足碳化硅功率器件的制备要求。技术背景碳化硅(SiC)是一种重要的宽带隙半导体材料,在高温、高频和大功率器件等领域有着巨大的应用潜力。和传统的硅(Si)材料相比,SiC拥有明显的优势,比如,其禁带宽度是Si的3倍,饱和电子漂移速率是Si的2. 5倍,击穿电场是Si的10倍。除了以上优点外,SiC还是众多化合物半导体中唯--种可以自身形成氧化物(SiO2)...
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