技术编号:8167816
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种m族氮化物结晶的制造方法、m族氮化物结晶的制造装 置及ni族氮化物结晶,更详细地说,涉及采用助熔剂法的ni族氮化物结晶 的制造方法、适于该制造方法实施的制造装置、及使用该制造装置制造的ni 族氮化物结晶。背景技术目前,作为紫~蓝~绿色光源使用的InGaAIN系(III族氮化物)器件主 要是通过在蓝宝石衬底上或SiC衬底上使用MO ' CVD法(有机金属化学气 相成长法)及MBE法(分子线结晶成长法)等的结晶成长而.制作的。作为将 蓝宝石及SiC作为衬底使用时的问题点,例举有因衬底和III族氮化...
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