技术编号:8167922
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种半导体晶体生长设备技术领域,尤其是涉及一种籽晶杆装置。背景技术提拉法生长晶体所用的籽晶杆通常由一根一端带有螺纹、另一端割有多道槽的实心杆状结构组成。带螺纹端与旋转提拉装置螺接,带槽端可将钼金丝绑在槽上,做一个接头,然后将绑好籽晶的钼金丝固定到接头上。这种装置存在着较大的缺陷在晶体生长完成 取出时,需要将籽晶杆螺纹端与旋转提拉装置旋开,以便将晶体从炉膛中取出,然而针对大尺寸晶体,在籽晶杆与旋转提拉装置旋开过程中由于晶体的重力作用,籽晶杆螺纹端容易卡死,晶体难以取出,若强行扭转,将对晶体造成影...
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