技术编号:8169679
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域·[0001]本实用新型涉及一种半导体材料制备设备,尤其涉及一种直拉单晶炉导流筒。背景技术现有技术中的导流筒采用石墨材料,其中外导流筒和内导流筒均为一体成型结构,使用现有技术中的这种采用石墨材料的内导流筒可能造成晶体中碳氧含量超标,且使拉速显著降低,故需进行改造完善。发明内容本实用新型的主要目的是提供一种直拉单晶炉导流筒,旨在降低晶体中碳氧含量、提高拉速。本实用新型实施例提供了一种直拉单晶炉导流筒,包括固定连接的外导流筒和内导流筒,所述内导流筒的材质为钥,其包括形成筒状的至少两导流瓣,相邻两所述导流瓣固定连...
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