技术编号:8169940
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用来去除带电工件静电的去电装置,尤其涉及可对该 工件进行近距离去电的去电装置。背景技术作为去除带电工件静电的装置,有众所周知的采用电晕放电方式的去电装置,其中脉冲DC方式的去电装置与其它方式相比,离子释 放量多,是一种可用与单一高电压发生电路连接的多个放电针生成离 子的方式,被广泛使用于棒状去电装置等处。然而,采用脉冲DC方式的去电装置,由于其离子产生量多,因 而相对于去电对象工件近距离(例如100mm以下)设置的情况下, 由于对该工件释放出过多的离子,因而工件的表面电位相对于目标值 OV,有时反...
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