技术编号:8169976
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及用于硅结晶的坩埚,以及用于处理在坩埚中凝固然后作为锭取出的熔化材料的坩埚的防粘涂层(release coating)的制备与应用,并更具体地涉及用于多晶硅的固化中的坩埚的防粘涂层。 通常将氧化硅(silica)(石英玻璃或石英)坩埚用于多晶硅的凝固。选择氧化硅主要是为了高纯度与可利用性。然而,用这一方法将氧化硅用作制备硅的坩埚中存在着问题。 熔融状态中的硅将与它所接触的氧化硅坩埚起反应。熔化的硅与氧化硅反应形成一氧化硅与氧。氧会污染硅。一氧化硅是挥发性的,并会与熔炉内的石墨成分反应。一氧化硅与石墨...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。