技术编号:8170658
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及硅单晶炉技术领域,尤其涉及一种硅单晶炉摄像头自动切换装置。背景技术单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。硅单晶炉又称硅单晶提拉炉,主要由提拉头、副室、炉盖、主室、加热部分、速度部分、温度部分组成,硅单晶提拉炉一般采用成像方法获得直径反馈信号,在炉盖上开设观察窗,透过观察窗通过摄像头获取晶棒图像,为了提高精度采用两个镜头焦距不同的成像装置,相应的硅单晶提拉炉需开两个观察窗。从工艺角度看,两个摄像头并不同时工作,而是在不同的工艺段,两摄像头...
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