技术编号:8170847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域一种区熔热场技术领域[0001]本实用新型涉及单晶硅生产技术,尤其涉及一种区熔热场。背景技术[0002]目前,进行区熔单晶硅生产的区熔热场通常采用小内径平板鸭嘴型线圈,该加热线圈的截面图如图I所示,包括上斜面101、下斜面102和通水管103,该加热线圈最大能溶化直径80mm左右的多晶棒,生长出的单晶娃直径最大105mm。[0003]因此,使用该加热线圈,投料轻,产量低,且不能实现拉制大直径的区熔单晶硅。 实用新型内容[0004]本实用新型实施例提供一种区熔热场,以实现拉制直径较大的区熔单晶硅。[0005]...
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