技术编号:8171758
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域—种晶体预热装置技术领域[0001]本实用新型涉及半导体材料加工领域,尤其涉及一种晶体预热装置。背景技术[0002]在区熔炉中使用区熔法拉制晶体前,由于晶体不能被高频线圈感应,需要使用预热装置对区熔炉中的晶体进行预热,使晶体达到能被感应加热的状态。[0003]目前采用的预热装置为手动装置,包括操作手柄、连接杆和加热单元,操作手柄通过连接杆与加热单元固定连接,且操作手柄位于区熔炉外,连接杆穿过区熔炉的炉壁,加热单元位于区熔炉内。加热单元通常为预热叉或者预热环。[0004]当需要对区熔炉中位于炉膛中心的晶体进行...
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