技术编号:8172040
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域,具体为一种太阳能电池扩散用石英源瓶。背景技术太阳能电池制作过程中的扩散工序是在P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结,现在大部分采用液态源进行扩散。主要是利用氮气通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷,并在高温下趋入硅基体内形成N型半导体。在现有技术中,扩散工序所用的石英源瓶如图I所示,包括石英源瓶瓶身1-1,源瓶的进气管1-2、出气管1-3、热电偶探头套管1-4。进气管1-2和出气管1-3在源瓶顶面的两侧,进气管1-2底...
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