技术编号:8172395
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及半导体单晶材料加工领域,特别涉及一种直拉单晶硅棒自动分段的设备。·背景技术做为集成电路行业的支撑业一半导体单晶硅及硅片加工行业,硅片电阻率符合性是生产加工环节的一项重要生产能力指标。电阻率主要与掺杂剂量、多晶硅料量、热场、生长工艺、掺杂剂分凝系数等有关。相同热场,投料量,掺杂量,生长工艺下,在固有分凝系数影响下,同规格的单晶具有较好的电阻率分布一致性。这为理论模拟单晶硅电阻率轴向分布提供了良好基础。由于下游企业工艺及产品要求,一般要求制作器件的硅片电阻率在较窄的范围内,同时还有厚度,参考面,倒...
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