技术编号：8172825
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及多晶硅铸锭炉的制造技术领域，具体涉及一种基于多加热器的多晶硅铸锭炉热场结构，适用于制造大投料量大尺寸高品质的多晶硅锭。背景技术多晶硅铸锭炉是一种专业的硅重熔设备，用于生产合格的太阳能级多晶硅铸锭。铸锭生产是先将符合要求的多晶硅原料装入炉中，而后按照工艺设定进行加热、熔化、长晶、退火、冷却等各个步骤，最终将多晶硅锭取出的过程。但是，铸造多晶硅内部存在大量的晶界，洁净的晶界呈非电活性，对少数载流子寿命并无影响或只有微小影响，而杂质的偏聚或沉淀会改变晶界的电活性，会显著降低少数载流子寿命，晶界越多，...
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