技术编号:8173650
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及晶体制造领域,具体地说是一种自馈式探测熔融晶体固液界面位置的装置及其探测方法。背景技术各种晶体及其相应的制备方法是为了满足不同行业的需求而产生的。虽然晶体种类繁多,且制造方法各不相同,但其涉及的晶体基本生长原理存在着很大的共性。目前,制备晶硅、蓝宝石等晶体的方法大致可分为泡生法(KY)、提拉法(CZ)、热交换法(HEM)以及由此衍生的改进方法。在制备上述高质量晶体时,都希望能精准地控制晶 体的制备过程,包括熔化速度,晶体生长速度,炉内温度、压力以及熔体流动,固液界面的位置及形状等重要参数;而其...
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