一种用于槽式多晶硅制绒的双层匀流板的制作方法技术资料下载

技术编号:8174953

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技术领域本实用新型属于晶体硅太阳能电池制造领域,涉及一种适用于槽式多晶硅制绒的双层匀流板。背景技术在半导体硅和太阳能电池制造中,槽式湿法制绒工艺是对晶体硅片表面进行湿法蚀刻,形成微沟、绒面,降低硅片表面的反射率,从而使太阳光在硅片表面进行多次反射,以提闻光的利用率。在多晶硅太阳能电池的制备工艺中,目前大多数厂家都是采用价格不菲的进口链式制绒设备,原因是市面上的槽式多晶制绒设备还存在几个大的问题(1)很难保证制绒后硅片表面绒面的大小及均匀性,这样当电池制作进行到镀膜工序时,由于绒面的不均匀会导致镀膜后出现明显的色差,...
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