技术编号：8175507
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及晶体硅生产领域，更具体地说，涉及一种铸锭炉。背景技术类单晶硅铸锭整个工序分为熔化、长晶、退火、冷却、急冷五个阶段，每一个阶段有不同的工艺温度。铸锭的一个关键跳段是熔化到长晶的跳段，在底部籽晶(单晶硅块)熔化预设的厚度时完成向长晶阶段的过渡，这样才可以即保证多晶硅料完全熔化，又保证剩余的足够的籽晶诱导长晶，进而保证类单晶的铸锭质量。其中，从一个阶段向另一个阶段过渡的过程称为跳段。参考图1，现有的类单晶硅铸锭炉包括炉体I ;设置在所述炉体I内的隔热笼2 ；设置在所述隔热笼内的坩埚3，所述坩埚侧面以...
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