技术编号:8175638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种石墨热场排气护套,特别是涉及一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨热场排气护套。背景技术当前制备单晶硅主要由两种技术,根据晶体生长方式不同,可以分为区熔单晶硅和直拉单晶硅。直拉单晶硅主要应用于微电子集成电路和太阳能电池方面,是单晶硅的主体。直拉法是运用熔体的冷凝结晶驱动原理,在固液界面处,藉由熔体温度下降,将产生由液体转换成固态的相变化。为了生长质量合格(硅单晶电阻率、氧含量及氧浓度分布、碳含量、金属杂质含量、缺陷等)的单晶硅棒,在采用直拉法生长时,必须考虑以下问题。首先是根据技术要求,选择使用...
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