一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口的制作方法技术资料下载

技术编号:8175993

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技术领域本实用新型是关于一种非金属晶体制造设备中的一个部分,特别涉及一种用于正压晶体生长炉的操作及观察窗口。背景技术晶体生长炉是一种用于人工晶体生长的设备,按照晶体生长氛围压力,可分为负压晶体生长炉、微正压晶体生长炉以及正压晶体生长炉等。正压区熔炉是一种典型的正压单晶硅生长炉,它利用线圈将原料硅棒局部加热熔化,熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮态,然后从熔区下方利用旋转着的籽晶将熔硅拉制成单晶硅。悬浮区熔时,熔区呈悬浮状态,不与任何物质相接触,因而不会被沾污。此外,由于硅中杂质的分凝效应和蒸发...
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