技术编号:8177351
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及一种同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。二背景技术单根组硅芯炉是早期用于生产多晶硅用硅芯的晶体区熔设备。硅芯是在还原过程中作为CVD载体的细硅棒,由于其无污染、纯度高、损耗小、收率高等特点,使用区熔硅芯作为还原电子级多晶硅成为一种普遍的方法。但对于目前而言,单根组硅芯炉单位产量较低(只能同时生产一根),在如今的硅芯区熔生长技术中已失去原有优势。三、实用新型的内容本实用新型的目的是提出一种能够同时生产三根硅芯的硅芯炉装置。其能够提高其生产效率,并显著降低能耗。本实用新型的目的是这样来实现的一种同时生产...
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