技术编号：8178255
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域单晶炉及其坩埚托杆技术领域[0001]本实用新型涉及单晶炉技术领域，更具体地说，涉及一种单晶炉的坩埚托杆，本实 用新型还涉及一种具有上述坩埚托杆的单晶炉。背景技术[0002]单晶炉是采用直拉法生产单晶硅的主要设备。其中，生产单晶硅的多晶硅原料放 置于石英坩埚中，石英坩埚放置于位于单晶炉热场中的石墨埚中，而石墨埚被一根圆柱状 的坩埚托杆支撑(如图1所示)，坩埚托杆的下部穿过单晶炉的炉底以与外部的驱动装置连 接，位于热场中的炉底上设置有隔热层和护盘压片(护盘压片单晶炉热场的组成部分之 一，用于保护单晶炉炉底)，...
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