技术编号:8178314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于机械设备技术领域,涉及一种单晶炉用空心水冷轴。背景技术目前,现有技术在采用高温人工晶体生长时,为了获得理想的生长工艺条件,坩锅在坩埚轴的支撑下不但需要做升降运动、旋转运动,同时又要对坩埚底部的温度进行测量;由于大多数人工晶体生长温度较高,因此,需要对坩埚轴进行水冷却,这样就难以实现坩埚底部的准确温度测量,成为一个影响晶体生长的技术难题。发明内容本实用新型的目的是提供一种单晶炉用空心水冷轴,解决了现有技术中没有适当的空间设置,不能满足在水冷情况下对坩埚底部温度测量的问题。本实用新型所采用的技术方...
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