技术编号：8178657
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于机械设备技术领域，涉及一种双观察孔单晶炉炉盖结构。背景技术单晶炉是生长硅单晶的专用设备，在硅单晶生长过程中需要随时掌握硅单晶棒的直径状况，因此，在单晶炉炉盖上设置有观察孔，对于生长大直径硅单晶棒的单晶炉，就需要在炉盖上开出长度尺寸大于硅单晶棒直径的观察孔，目前单晶炉炉盖上普遍采用的是田径跑道型大尺寸的椭圆形观察孔。现有技术中的单晶炉炉盖上，由于采用大尺寸的田径跑道式椭圆形观察孔结构，严重的影响了炉盖的刚性和强度，不但制造复杂、变形严重、密封效果差，同时也会对单晶炉内部的热场有较大影响，从而降低...
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