技术编号：8178894
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于太阳能电池材料的制备范围，特别涉及到纳米晶硅的制作方法。技术背景太阳能光伏发电是获得有利于环境的可再生能源的重要途径之一，因此最近几年，光伏 电池和大面积光伏模块的发展引起了世人的广泛关注。薄膜太阳能电池代表着光伏技术的发 展趋势，尤其是氢化非晶硅和纳米晶硅，它们随着光伏器件在商业和住宅设施中的广泛应用，显示出巨大的潜力。在260。C以下这样较低的温度下生产薄膜硅光伏器件一个显著特点是， 大面积沉积的与硅相关的半导体膜层和电接触膜层具有优良性能。同时，使用良好成熟的镀 膜设备和程序，可以工业化地制...
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