技术编号：81797
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种。 背景技术现已有一种真空贴合装置(如图1)，由上工作台1、下工作台2和O型密封圈7构成封闭室腔，再由真空抽气泵将封闭室腔抽成高真空环境。在上工作台1和下工作台2上分别装有上静电吸盘3和下静电吸盘4，在真空中可将上基板5和下基板6，通过静电力作用吸附于静电吸盘表面。此时通过显微摄像机分别读取上下基板对位标记，并得出上下基板的偏差，然后驱动上工作台1在水平面上进行移动，带动上基板5完成对位。 对位完成后(如图2)关闭上静电吸盘3的电源，并同时从上静电吸盘3的吹气孔8中吹出气体，通过导气槽的导气...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。