技术编号:8180339
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域一种双提拉腔单晶炉结构技术领域[0001]本实用新型属于机械设备技术领域,涉及一种双提拉腔单晶炉结构。背景技术[0002]单晶炉是生长硅单晶的专用设备,在实际硅单晶生长过程中,为了缩短辅助时间、减少耗材消耗、提高生产效率,需要在同一个坩埚中进行二次加料。目前,常用的二次加料方法是将块状或粒状原料通过辅助加料桶进行加料,不但增长了辅助时间,而且由于块状或粒状原料的形状不规则、不统一,往往会出现卡滞现象,造成加料失败,从而造成较大的损失。发明内容[0003]本实用新型的目的是提供一种双提拉腔单晶炉结构,解决了现...
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