技术编号：8180755
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型涉及蓝宝石长晶设备技术领域，特别涉及一种大规格尺寸蓝宝石炉底部加热器结构。背景技术目前，蓝宝石衬底企业和LED外延厂商的应用都以2英寸和4英寸为主衬底，随着LED的应用越来越广泛，国内外外延厂商逐渐引入4英寸及6英寸外延生产工艺和设备，4英寸和6英寸蓝宝石衬底将促进成本的大幅度降低，对大尺寸蓝宝石衬底的需求也将迅速升温，从而促进大规格尺寸蓝宝石晶体生长炉市场需求激增。在晶体的生长过程中，需要一定的轴向温度梯度和径向温度梯度，而传统的蓝宝石泡生炉只能满足小规格尺寸蓝宝石晶体的生长，而晶体直径一旦超过...
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