技术编号:8181226
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及有机EL(Electro Luminescence)显示装置等显示装置、在该显示装置中使用的薄膜晶体管(以下也略记为“TFT (Thin FilmTransistor)”、及TFT的制造方法。背景技术近几年,作为下一代的显示装置,采用了电流驱动型的有机EL元件的有机EL显示装置备受关注。其中,在有源矩阵驱动型有机EL显示装置中采用场效应晶体管,作为该场效应晶体管之一,已知有在具有绝缘表面的基板上设置的半导体层成为沟道形成区域的薄膜晶体管。作为在有源矩阵驱动型有机EL显示装置中采用的薄膜晶体管,至少...
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