技术编号：8181828
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种金刚石材料损伤的恢复方法，更具体而言，涉及一种基于飞秒激光恢复金刚石材料离子注入损伤表面的方法，该方法可用于金刚石表面由于离子掺杂，产生的金刚石晶格的空缺、间隙乃至非晶等损伤的修复，将该损伤层恢复成晶体状态，提闻金刚石材料的表面功能。背景技术使用离子溅射加工金刚石材料时，由于离子注入在金刚石表面产生离子掺杂，并造成金刚石晶格的空缺和间隙等点缺陷，金刚石表面不可避免地形成一层掺杂注入离子的非晶状态改性层。而由于该损伤层材料性质发生了变化，将导致金刚石表面的质量和性质，如机械强度、硬度、耐磨性等降...
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