一种有效恢复离子注入金刚石损伤的方法技术资料下载

技术编号:8181828

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技术领域本发明涉及一种金刚石材料损伤的恢复方法,更具体而言,涉及一种基于飞秒激光恢复金刚石材料离子注入损伤表面的方法,该方法可用于金刚石表面由于离子掺杂,产生的金刚石晶格的空缺、间隙乃至非晶等损伤的修复,将该损伤层恢复成晶体状态,提闻金刚石材料的表面功能。背景技术使用离子溅射加工金刚石材料时,由于离子注入在金刚石表面产生离子掺杂,并造成金刚石晶格的空缺和间隙等点缺陷,金刚石表面不可避免地形成一层掺杂注入离子的非晶状态改性层。而由于该损伤层材料性质发生了变化,将导致金刚石表面的质量和性质,如机械强度、硬度、耐磨性等降...
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