技术编号:8181899
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及在对平板显示器(FPD)制造用的玻璃基板等的被处理基板实施感应耦合等离子体处理时使用的感应耦合等离子体用天线部件、使用了该感应耦合等离子体用天线部件的感应耦合等离子体处理装置以及感应耦合等离子体处理方法。背景技术在液晶显示装置(LCD)等的平板显示器(FPD)制造工序中,存在对玻璃制的基板进行等离子体蚀刻、成膜处理等的等离子体处理的工序,为了进行这种等离子体处理而使用等离子体蚀刻装置、等离子体CVD装置等各种等离子体处理装置。以往,作为等离子体处理装置,大多使用电容耦合等离子体处理装置,但是,近来...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。