技术编号:8182198
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及纳米材料制备领域。尤其是制备纳米超薄晶片的方法,采用团簇束流荷能沉积中利用单个颗粒携带能量接近颗粒总结合能的尺寸在几个纳米的团簇束流沉积在非定向的衬底上得到具有密堆积结构的超薄纳米晶片的方法。背景技术 材料纳米化后,因其特征尺寸在纳米尺度而具有小尺寸效应、表面效应和量子尺寸效应因而表现出了崭新的物理和化学性质,纳米相材料因此而受到广泛的关注,而纳米材料的制备就是纳米科技发展和走向应用的最基础的一步。目前很多方法都已经被报道用来制备纳米相材料,包括溶剂法、电化学法、化学气相沉积、物理气相沉积和球磨粉...
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