技术编号：8183350
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于等离子体加工光学零件的技术领域。背景技术大气等离子体加工技术是近年来兴起的一种新颖的加工方法，尤其适合传统机械方法难以加工的二氧化硅、碳化硅等硬脆材料，它采用非接触式的大气等离子体射流作为加工工具，利用等离子体所激发出来的活性粒子与工件表面发生化学反应来实现工件材料原子量级化学去除的加工方法。与传统抛光方法相比，大气等离子体加工的优势是能够对传统难加工的材料实现高效快速加工，加工过程中又可避免机械作用力，使加工不存在对表面及亚表面造成机械损伤，非常适合高性能表面的加工要求；加工是在常压环境下进行，...
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