技术编号：8184100
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于一种超声频压电振动元件，特别涉及一种双弯曲行波超声抛光振子。背景技术超声抛光加工是指利用超声振动工具在有磨料的液体介质或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击以及由此产生的气蚀作用来去除材料，工具或工件沿一定方向施加超声频率振动进行振动加工的方法。超声加工的实质是磨料的机械冲击与超声波冲击及空化作用的综合结果。现有的超声振动硅片抛光，即超声辅助化学机械抛光技术，采用的是在板状抛光工具上通过弯曲振动与伸缩振动或两者复合振动实现硅片的超声辅助抛光。板状超声抛光装置主要由板状抛光工具和压电陶瓷片两部...
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