一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极的制作方法技术资料下载

技术编号:8186919

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技术领域本实用新型涉及光伏产业多晶硅生产设备,尤其涉及一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极。背景技术在光伏产业,多晶硅是硅产品产业链中极为重要的中间产品,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料。多晶硅铸锭真空炉是用于铸造大型多晶硅锭的设备, 它是将硅料高温熔融后通过定向凝固冷凝结晶,使其形成晶向一致的硅锭,从而达到太阳能电池对硅片品质的要求。定向凝固铸造多晶硅的原理是将石英坩埚装入多晶硅料后放在导热性很强的石墨块(即定向凝固块)上,关闭炉膛后抽真空,接通加热器电源待硅料完全熔化后,隔热笼缓慢往上提升,露出由下...
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