一种晶体生长炉的绝热结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8187106

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技术领域本实用新型涉及一种晶体生长炉,特别涉及一种晶体生长炉的绝热结构。背景技术LED产业链相对较长,跨越了晶体生长,掏棒,基片切割,MOCVD外延及芯片,封装等等,蓝宝石晶体生长的特点为周期长,能耗高,且晶体质量无法直接反馈,随着蓝宝石晶体生长尺寸的增大和LED产业的快速普及,许多晶体生长过程中的实际问题也愈发明显,如能耗,周期,热场寿命,加工难度等引起了人们的关注。为了进一步推广LED照明产业的发展,降低生产成本,制备高质量的蓝宝石晶体成为行业目前亟待解决的课题。为了减少不必要的热损失,传统方法是使用石墨软毡作...
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