技术编号:8187266
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域单晶炉坩埚防尘装置属于机电技术领域,特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘。技术背景单晶炉是多晶硅转化为单晶硅エ艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料;单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前,利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业杂质掉入磁流体内,造成磁流体卡死,不旋转,影响拉晶质量;众所周知,目前单晶炉坩埚装置,采用防尘装置密固性能差,容易造成设...
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