技术编号:8187953
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于工业冷却水技术领域,特别是涉及一种具有高可靠性的蓝宝石生产的冷却水系统。背景技术人工晶体材料经过半个多世纪的发展取得了巨大的成就,已具有较高的技术水平和较大的生产能力,为之配套服务的晶体生长设备一单晶炉也随之得到了飞速的发展。上世纪90年代中村修二先生在蓝宝石衬底上制成GaN基蓝光LED,使得蓝宝石晶体的应用飞速增加。随着蓝宝石晶体应用市场的急剧膨胀,其设备和技术也在上世纪末取得了迅速的发展。现有冷却水系统运行过程耗水量大,运行安全性差,对设备有腐蚀性,不能很好地满足蓝宝石晶体生产的需要,研究...
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