用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置的制作方法技术资料下载

技术编号:8188122

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

技术领域本实用新型属于直拉法生长单晶硅技术领域,涉及一种用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置。背景技术现有技术中,单晶炉在热屏装置和晶体提升区域之间设置了一个筒状结构的水冷夹套,所述水冷夹套是中空的夹套设备,水冷夹套内部是冷却水流动通道;在单晶炉上安装水冷夹套,运行时水冷夹套内通有循环冷却水,巨大的温度差使得晶体散热更快,晶体的生长速率提高了近一倍,并可减少了晶体微缺陷,使得晶体品质大大的提高。然而在运行过程中,循环水会出现因停电导致的停水现象,因水冷夹套所处的位置距离熔硅液面200-300mm,环境温度较高,停水后水...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 霍老师:1. 木质纤维组分高效分离及高值化转化 2.(纳米)纤维素功能材料
  • 杨老师:生物质资源利用与制浆技术
  • 崔老师:1. 印刷电子 2. 仿生图案化功能结构
  • 刘老师:1.生物质纤维及其功能材料 2.纸基功能材料
  • 刘老师:1. 纳米基复合功能胶体油墨的设计制备 2. 可穿戴功能(光电、电子、传感、储能等)器件的设计构建 3. 基于3D打印的功能器件的构建及集成
  • 李老师:1. 木质生物质转化利用 2. 绿色包装材料
  • 王老师:1.生物质资源清洁转化利用 2.木质素化学及其高值化 3.木质素基复合材料
  • 杨老师:1. 溶解浆及人造纤维 2. 生物质微纳米纤维及其功能材料 3. 高性能纤维纸基功能材料