技术编号:8188122
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于直拉法生长单晶硅技术领域,涉及一种用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置。背景技术现有技术中,单晶炉在热屏装置和晶体提升区域之间设置了一个筒状结构的水冷夹套,所述水冷夹套是中空的夹套设备,水冷夹套内部是冷却水流动通道;在单晶炉上安装水冷夹套,运行时水冷夹套内通有循环冷却水,巨大的温度差使得晶体散热更快,晶体的生长速率提高了近一倍,并可减少了晶体微缺陷,使得晶体品质大大的提高。然而在运行过程中,循环水会出现因停电导致的停水现象,因水冷夹套所处的位置距离熔硅液面200-300mm,环境温度较高,停水后水...
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