技术编号：8188742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本实用新型属于石油化工技术领域，涉及一种通过高温扩散掺杂技术形成晶体硅太阳能电池PN结的管式生产装置，具体地说，涉及一种多端进排气可控型扩散炉管。背景技术目前，公知的扩散炉管在炉管尾部设置有一个进气端和一个出气端。工作气体通过进气端从炉管尾部直接通入炉管；出气端处插入长导管至炉管头部，起到把废气从炉管头部导出的作用。所要扩散掺杂的晶体硅片密集排列放置于炉管内，以便工作气体由炉管尾部流动到头部的过程中和晶体硅片进行反应。但是，在工作气体从尾部到头部的过程中， 由于和晶体硅片进行反应，浓度会不断降低，组份比例会...
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